• Вакуум: все диапазоны высокого/сверхвысокого давления до 10E-8 мбар • Смазочная жидкость до 10E-8 • Макс. температура прокаливания: 100°C • Апертура по X размером 90 x 90 мм, Y 150 x 150 мм. Система позиционирования с апертурой была объединена из двух линейных столиков для создания точного и прочного XY столика для применения в высоком вакууме и ультра- высокий вакуум. Его концепция с профильными направляющими и высокоточными шариковыми винтами обеспечивает исключительную точность при оптимальном использовании монтажного пространства. Его можно легко комбинировать с поворотным столиком DT155, что обеспечивает широкий спектр применения. Области применения Прецизионное позиционирование для лабораторных применений, микроскопии и полупроводниковых технологий, исследований в сверхвысоком вакууме и сильном ультрафиолетовом излучении, подготовки проб, сканирования проб, обработки проб, биочипов, проверки пластин, выравнивания пластин, настройки камеры, исследования материалов, материалов анализ, луч, ускоритель, синхротрон
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияXYТипмоторизованныйКоличество осей2 осиДругие характеристикивысокая точность, компактность, совместимость с вакуумом, для микроскопов, для тяжелых нагрузки, со встроенным шаговым двигателем, шарико-винтовой парой, профилированной направляющейХод
100 мм (3,937 дюйма)
Скорость
10 мм/с
