Установите новые стандарты с помощью преобразователя Пирани серии VersaTorr BVT200/225. Это универсальное решение для измерения широкого диапазона измерений для широкого спектра вакуумных применений. Он отличается от любых других вакуумметров тем, что предлагает в целом экономичное независимое от газа измерение от 5,0E-3 до 1333 мбар в сочетании с измерением до 1E-6 мбар за счет использования принципа тепловых потерь. В вакуумных приложениях, где состав или тип газа может измениться, традиционные газозависимые манометры Пирани приводят к отклонению измерений от фактического давления. В преобразователе Tri-Sensor используется прецизионный емкостно-диафрагменный датчик (CDG), который устраняет зависимость от газа и обеспечивает точные измерения даже при изменении свойств газа. Встроенный датчик MEMS Пирани с тепловыми потерями расширяет диапазон измерения до 1E-6 мбар и обеспечивает новую автоматическую регулировку нуля емкостного манометра, которая устраняет обычные потребности в ручной регулировке нуля традиционных емкостных мембранных манометров. Особенности и преимущества Сверхширокий диапазон измерения в течение 9 декад. Емкостная диафрагма повышает точность на 0,5 % в диапазоне низкого вакуума. 6 десятилетий независимых от газа измерений от 5E-3 до 1333 мбар. Автоматическое обнуление емкостного манометра. Вакуумный датчик температуры для диагностики. Области применения. Блокировки нагрузки. Перенос. камеры Форвардные линии Вакуумные линии черновой обработки Обработка тонких пленок
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияПирани, емкостная диафрагмаДисплейцифровойДругие характеристикиRS485Диапазон вакуума
Макс.: 1333 мбар (19,333530439 фунтов на кв. дюйм) )
Мин.: 3 мбар (0,043511321 фунтов на квадратный дюйм)
