Серия iXL представляет собой линейку компактных сухих насосов с низким энергопотреблением для легких задач, таких как обработка пластин, PVD и метрология. Быстрая откачка камеры и чрезвычайно низкое энергопотребление Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) являются одними из самых маленьких и тихих насосов, доступных для легких условий эксплуатации. Варианты iXL600M и iXL1000M закалены в процессе обработки и специально разработаны для диэлектрического (оксидного) травления. и других подобных применений. Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) отличаются высокой скоростью перекачки и низким энергопотреблением. iXL900R — самый быстрый насос с загрузочным устройством, доступный в настоящее время в своем классе для приложений с загрузочным устройством FPD. Клиенты могут значительно сократить свои эксплуатационные расходы и время установки с помощью этого нового насоса, который особенно хорошо подходит для самых больших загрузочных камер, используемых для плазменного осаждения из паровой фазы (PVD). Кроме того, клиентам понадобится меньше насосов на камеру шлюза, что сокращает время установки, затраты на системизацию, техническое обслуживание и потребление коммунальных услуг. Зеленый режим позволяет сократить использование коммунальных услуг в периоды простоя, снижая затраты и помогая улучшить экологические показатели.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиятурбомолекулярнаяСмазкасухаяКоличество ступенейодноступенчатаяПрименениеплазмаДругие характеристикикомпактность, низкий уровень шума, низкое энергопотреблениеПредельный вакуум
0,01 мбар (0 фунтов на квадратный дюйм)
Скорость потока
110 м³/ч (3884,61 фут³/ч)
