Мощные турбонасосы со скоростью откачки до 1450 л/с. Продукт • — Высокая скорость откачки как легких, так и тяжелых газов • — Высокая целостность процесса, устойчивость к твердым частицам • — Высокая пропускная способность даже для тяжелых газов • — Сертификация Semi S2 и UL/CSA • — Максимальная надежность за счет контроля эксплуатации данные Стандарт • — Высокая целостность процесса, устойчивость к твердым частицам
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиятурбомолекулярнаяСмазкамасло- свободныйКоличество ступенейодноступенчатыйПропускная способность
Мин.: 0 л/ с (0 галлонов США/с)
Макс.: 1450 л/с (383,05 галлонов США/с)
