Мощные турбонасосы со скоростью перекачки до 1300 л/с. Продукт • — Высокая скорость откачки как легких, так и тяжелых газов • — Высокая целостность процесса, устойчивость к твердым частицам • — Высокая пропускная способность даже для тяжелых газов • — Сертификация Semi S2 и UL/CSA • — Максимальная надежность за счет контроля эксплуатации данные Стандарт • — Высокая целостность процесса, устойчивость к твердым частицам
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиятурбомолекулярнаяСмазкамасло- свободныйКоличество ступенейодноступенчатыйПропускная способность
Макс.: 1300 л/ с (343,42 галлонов США/с)
Мин.: 0 л/с (0 галлонов США/с)
