5-осевой турбонасос на магнитной подвеске со ступенью сопротивления для скорости перекачки до 2150 л/с для N2. Продукт • — Работа со встроенной электроникой привода OBC или электроникой внешнего привода Magpower • — Установка в любой ориентации • — Водяное охлаждение • — Маркировка CE и соответствует требованиям ROHS • — Доступна версия с подогревом (MT) для агрессивных сред. • — Турбомолекулярный насос среднего размера ATH-M, признанный мировой лидер в области производства полупроводников и покрытий. Широкая мировая база установки для легких и тяжелых процессов для размеров фланцев DN200 и DN250.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиятурбомолекулярнаяСмазкамасло- свободныйКоличество ступенейодноступенчатыйПропускная способность
Макс.: 2150 л/ с (567,97 галлонов США/с)
Мин.: 0 л/с (0 галлонов США/с)
