Повысьте точность и эффективность управления высокотемпературным потоком. Разработанные для сложных условий, связанных с доставкой конденсируемых прекурсоров и примесей при высоких температурах, высокотемпературные термотермические контроллеры массового расхода и расходомеры Brooks Instrument серии 9861 имеют металлический проточный тракт высокой чистоты и герметичности, обеспечивающий совместимость со всеми технологическими газами и парами. Запатентованный IsoSensor™ — это высокостабильный датчик потока, совместимый с повышенными температурами окружающей среды, возникающими в нагретых газопроводах и системах выпечки. Сверхнизкий дрейф датчика IsoSensor™ снижает необходимость частого повторного обнуления и повторной калибровки, типичной для высокотемпературных применений. Особенности • Сверхстабильный запатентованный датчик измерения расхода IsoSensor™ • Сверхвысокая чистота пути потока • Выносная электроника в стандартной комплектации поставляется с двумя аналоговыми электрическими разъемами • Цифровая архитектура измерения и управления Преимущества • Высокостабильный датчик обеспечивает превосходное время безотказной работы, сокращая техническое обслуживание и снижая общую стоимость собственность • Цельнометаллический контактный путь потока, контактирующий с рабочей средой, обеспечивает целостность и чистоту газа/пара • В комплект поставки входит 20-контактная кромка карты и 9- или 15-контактный разъем «D» для стандартизации и сокращения запасов • Повышенная точность и контроль процесса Области применения Производство оптического волокна — MCVD Silicon процессы изготовления полупроводниковых приборов
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиятермомассаЖидкостьдля газМатериалнержавеющая стальСвязьRS485Напряжение питания 5 В постоянного токаПрименениепромышленное, для суровых условийДругие характеристикицифровое, прецизионное, дистанционное, высокотемпературное, с массой регулятор расходаТемпература процесса
Макс.: 150 °C (302 °F)
Мин.: 0 °C (32 °F)
Технологическое давление
Макс.: 90 фунтов на квадратный дюйм
Мин .: 0 psi
Точность
0,35 %, 1 %
Повторяемость
0,15 %
