Быстро реагирующая, повторяемая подача технологических газов с высоким и сверхвысоким уровнем чистоты — именно такие характеристики обеспечивает серия GF100 контроллеров массового расхода и расходомеров с металлическим уплотнением. Серия GF100, разработанная для полупроводниковых, MOCVD и других приложений управления потоком газа, превосходит отраслевые стандарты полупроводниковой промышленности по надежности, обеспечивая повторяемость и высокую стабильность работы с течением времени. Стандартная технология MultiFloTM позволяет одному MFC поддерживать тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без его удаления из газопровода или снижения точности. Результат: повышенная гибкость и эффективность процесса в сочетании с высочайшим в отрасли уровнем чистоты технологического газа, что помогает максимизировать выходы и производительность. Особенности: Долговременная нулевая стабильность
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияТепловая масса, перепад давленияЖидкостьдля газаМонтажв линиюСвязьRS485Напряжение питания >5 В постоянного токаУровень защитыкоррозионностойкийДругие характеристикикомбинированныеПроцесс температура
Мин.: 0 °C (32 °F)
Макс.: 50 °C (122 °F) )
Технологическое давление
Мин.: 0 бар (0 фунтов на квадратный дюйм)
Макс.: 10,34 бар
Точность
0,35 %, 1 %
Повторяемость
0,15 %
/дел>
