Датчики массового расхода воздуха серии MCS100 подходят для измерения расхода воздуха в различных типах физического научного оборудования, а также для подтверждения вакуумного отсасывания мелких электронных деталей. Особенности * — Высокоскоростной отклик 5 мс благодаря датчику массового расходомера оригинальной технологии Azbil * — Можно обеспечить большую разницу выходного сигнала между условиями срабатывания и отсутствия датчика по сравнению со стандартным датчиком давления * — Компактный и легкий, позволяющий контролировать расход датчик может быть установлен в любом месте, даже чуть выше сопла (непосредственный монтаж на воздушной трубке между соплом и эжектором), что обеспечивает высокий отклик при обнаружении подсоса * — Точное обнаружение обеспечивается уникальной системой измерения расхода MCS, которая не подвержена влиянию из-за колебаний давления всасывания, как это происходит с датчиками давления. * — На стороне контроллера возможно однократное управление настройкой благодаря аналоговому выходному сигналу, даже если всасывающее сопло заменено. Засорение фильтра или деформация сопла могут быть обнаружены по скорости потока в состоянии отсутствия захвата * — Можно обнаружить как захват, так и возврат стружки в процессе установки, поскольку поток может быть обнаружен как в положительном, так и в обратном направлении.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияТепловая масса, массаПрименениевоздухДругие характеристикирядный, компактный, аналоговый выход, миниатюрный
