PFLOW: OEM-датчики массового расхода воздуха MEMS для применения в медицине и управлении технологическими процессами. Обладая высокой устойчивостью к засорению и ударам давления, компания PEWATRON выпустила новый MEMS-датчик массового расхода воздуха PFLOW, в котором реализованы последние инновации в области MEMS и микроэлектроники. Датчик PFLOW имеет очень высокую устойчивость к засорению и ударам давления. Благодаря инновационной конструкции теплоизоляции MEMS не требуются хрупкие тонкие мембраны или поверхностные полости для теплоизоляции. Датчик имеет очень высокую чувствительность при малых расходах и поэтому идеально подходит для медицинских и передовых применений в перерабатывающей промышленности. Датчик потока состоит из двух термобатарей, симметрично расположенных вверх и после нагревательного элемента, который нагревает горячие спаи. Каждая термобатарея состоит из 20 последовательно соединенных термопар, что обеспечивает высочайший уровень чувствительности. Когда поток проходит через кристалл, термобатареи генерируют выходное напряжение, пропорциональное градиенту температуры (асимметричному) между горячим и холодным спаем из-за эффекта Зеебека. В случае, если среда статична (нет потока), температурный профиль как на входе, так и на выходе — симметричен. Предлагаются пять стандартных диапазонов измерения от 0…10 SCCM до 0…2000 SCCM, а также диапазоны, определяемые заказчиком, от 10 до 2000 SCCM. Точность лучше +/-2,0% от полной шкалы, а аналоговый выходной сигнал с температурной компенсацией (0…50°C) очень линейен в зависимости от расхода. Аналоговое выходное напряжение составляет от 1 до 5 В постоянного тока, датчик устойчив к конденсации воды. Время отклика очень быстрое, около 1-3 мс.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиятермомассаЖидкостьдля воздух, для водыМонтажв линиюОбласти примененияHVACТемпература процесса
Мин.: -25 °C (-13 °F)
Макс.: 85 °C (185 °F)
Технологическое давление
25 фунтов на квадратный дюйм
