Высокая производительность и большой диапазон расходомеров газа. В серии массовых расходомеров газа CMS в качестве чувствительного элемента используется наш запатентованный тепловой датчик расхода. Благодаря интеграции этого сверхминиатюрного датчика массового расхода, изготовленного с использованием технологии микрообработки и усовершенствованной конструкции сверхтонких каналов, был достигнут беспрецедентный уровень высокой точности и широкий диапазон измерений при низких затратах. Обладая простотой использования и высокой надежностью, эти расходомеры зададут стандарты будущего. Этот датчик потока теплового типа, изготовленный с использованием кремниевой микрообработки и тонкопленочных технологий, имеет площадь всего 1,7 мм² и толщину 0,5 мм. Использование технологии сверхточной обработки сводит к минимуму изменения в компоновке элементов и тепловой мощности. Высокое разрешение скорости потока 1 мм/с и высокая скорость отклика примерно 2 мс достигаются на уровне чипа датчика. При отсутствии потока газа распределение температуры вокруг нагревателя симметрично. Когда газ начинает течь от Ru к Rd, температура Ru вверх по потоку начинает снижаться, а температура на выходе Rd увеличивается, что приводит к нарушению симметрии распределения температуры. Эта разница температур между Ru и Rd используется для расчета массовой скорости (скорость x плотность).
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиятермомассаЖидкостьдля газМонтажв линиюСвязьRS485, аналоговый выход, с импульсным выходомОбъемный расход
Макс.: 500 л/мин (132,1 галлона США/мин)
Мин.: 0 л/ мин (0 галлонов США/мин)
Температура процесса
Макс.: 70 °C (158 °F)
Мин.: -20 °C (-4 °F)
Давление процесса
15 бар (217,56 фунтов на квадратный дюйм)
