Доказанная долгосрочная стабильность. Сверхчистая производительность для применений с высоким давлением. Регуляторы массового расхода серии 5850EM с металлическим уплотнением измеряют и контролируют потоки газа под высоким давлением в сверхчистых средах с проверенной стабильностью, основанной на характеристиках широко используемых MFC серий 5850E и i. Его металлическая герметичная конструкция и электрополированные смачиваемые поверхности обеспечивают исключительную целостность потока и помогают повысить общую эффективность процесса, устраняя необходимость постоянного мониторинга и корректировки давления газа для обеспечения стабильного потока газа. Особенности • Долговременная нулевая стабильность
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиятермомассаЖидкостьдля газМонтажв линиюМатериалнержавеющая стальКоммуникации >4-20 мАНапряжение питания5 В постоянного токаДругие характеристикивысокое давлениеОбъемное расход
Макс.: 30 000 л/мин (7 925,2 галлона США/мин)
Мин.: 0 л/ мин (0 галлонов США/мин)
Температура процесса
Макс.: 65 °C (149 °F)
Мин.: 0 °C (32 °F)
Технологическое давление
Макс.: 1500 фунтов на квадратный дюйм
Мин.: 0 фунтов на квадратный дюйм
Точность
1 %, 1,5 %
Повторяемость
0,2 %
