для условий сверхвысокого вакуума до 10^(-9) мбар. Ход 3,5 мм по осям x, y и z. занимаемая площадь 15 x 15 мм. Сверхкомпактные миниатюрные столики перемещения с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Версия MS15 для сверхвысокого напряжения.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейная, XYZТип пьезоэлектрическийКоличество осей3 осиДругие характеристикиминиатюрный, вакуумныйХод
3 мм (0,118 дюйма)
Скорость
1,5 мм/с
