для условий высокого вакуума до 10^(-9) мбар. Ход 11 мм при занимаемой площади 40 x 40 мм. Особенно плоский корпус (высота 11 мм). Миниатюрные столики перемещения с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Версия DS 40 для сверхвысокого напряжения.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейнаяТиппьезоэлектрическийДругие характеристикиминиатюрность, совместимость с вакуумомХод
22 мм (0,866 дюйма)
Скорость
1,2 мм/с
