• Вакуум: все диапазоны HV/UHV/EUV до 10-11 мбар • Смазочная жидкость до 10-8 / сухая до 10-11 мбар • Макс. Температура обжига: 120°C • Класс чистого помещения 4 ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) • Доступна магнитная версия. Опционально конфигурируется: • С отверстием или без него • Различные ходы • Опционально с измерительной системой и без нее • Версии для чистой помещение ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) • Выбор материала и вакуумная смазка адаптированы к применению • Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере • Опционально с контроллером FMC400/450 Точная ступень подъема для высоких нагрузок Ступень подъема с апертура подходит для высокоточных вертикальных перемещений в экстремальных условиях, таких как высокий вакуум, сверхвысокий вакуум и сильное ультрафиолетовое излучение. Благодаря принципу подъемного клина он достигает своих параметров, несмотря на небольшую общую высоту 125 мм. Комбинация шагового двигателя и прецизионной шарико-винтовой передачи (опционально – скользящего винта) обеспечивает минимальный размер шага при сравнительно высоких нагрузках. Области применения Области применения Прецизионное позиционирование в промышленности и исследованиях в сверхвысоком вакууме и в условиях сильного ультрафиолетового излучения, выравнивание и проверка пластин, зондовых карт и печатных плат, анализ поверхности, измерение толщины слоя, юстировка камеры, исследование материалов, анализ материалов , инспекция, микроскопия в вакууме, канал, ускоритель, синхротрон
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациявертикальнаяТипмоторизованнаяДругие характеристикипрецизионный, для больших нагрузок, из нержавеющей стали, для микроскопов, промышленный, раздвижной, шариковый винт, скрещенный ролик, вакуумный, со встроенным шаговым двигателем >Ход
16 мм (0,63 дюйма)
Скорость
8,3 мм/с
