Ход 15 мм при занимаемой площади 70 x 70 мм для замкнутого контура (разрешение до 50 нм) для системы NOVA. Миниатюрные столики перемещения с пьезоэлектрическим инерционным приводом для системы NOVA. Стандартная версия
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияперемещениеТиппьезоэлектрическийДругие характеристикизамкнутый контурХод
15 мм (0,591 дюйма)
Скорость
1 мм/с