Поворотные столы Planar ServoRing обеспечивают превосходное угловое позиционирование и предназначены для устранения люфта, трения и проблем с износом, связанных с червячными, зубчатыми и ременными передачами. Низкие эксплуатационные расходы и высокая производительность ступени Planar ServoRing обеспечивают минимальную совокупную стоимость владения. Компактный корпус и превосходная конструкция поворотных столиков Planar ServoRing были оптимизированы для минимизации высоты столика. Низкий профиль сцены уменьшает общую рабочую высоту системы. Радиально-упорные подшипники используются для максимизации характеристик в отношении биения, моментной жесткости и трения. Платформа ULTRATHIN ServoRing имеет большую прозрачную центральную апертуру, которую можно использовать для прохождения воздуха или проволочной линии, а также для подачи луча. Planar ServoRing использует технологию трехфазного планарного бесщеточного двигателя с прямым приводом. Не требуется замена щеток, а также зубчатые передачи или ремни, требующие обслуживания. Магнитная конструкция «Lo-Cog» обеспечивает плавное вращение и динамические характеристики. Низкая инерция и нулевой люфт делают Planar ServoRing идеальным решением для применений, требующих частой смены направления. Точное позиционирование обеспечивается бесконтактным энкодером типа MHS. Двигатель и поворотные энкодеры напрямую соединены между собой для устранения люфта муфты. Энкодер MHS позволяет достичь точности 5 угловых секунд для PSR300 и точности 8 угловых секунд для PSR200. Сборка полупроводников Сборка электроники Прецизионные станки Роботизированные манипуляторы Обработка пластин Автоматизация
Технические характеристики
ХарактеристикиРаботас приводом от двигателяКонфигурация горизонтальныйПрименениедля станковДругие характеристикикомпактный, с прямым приводом, бесщеточныйДиаметр
200 мм (8 дюймов)
