SOM-12090 длиной 226 мм, шириной 176 мм и высотой 30 мм является вторым по величине столиком микроскопа SmarAct. Стол имеет диапазон перемещения 83 мм по оси X и 63 мм по оси Y. Он основан на компактных линейных каскадах SLC SmarAct, которые обеспечивают точность нанометрового уровня и высочайшую повторяемость в замкнутом контуре. Совместимая с макетной платой базовая плата и адаптеры для стандартных вставок обеспечивают совместимость с распространенными производителями. Накладки и сами столики легко настраиваются. Механическая блокирующая сила [Н] — ≥ 5,5 Макс. Нормальная сила [Н] — 15 Размеры [мм] — 226 x 176 x 30 Вес [г] — 1500 Разомкнутый контур Разомкнутый контур Разрешение [нм] —
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейнаяКоличество осей 2-осевойДругие характеристикизамкнутый, компактный, высокоточный, алюминиевый, вакуумный, для микроскопов, разомкнутыйХод
63 мм, 83 мм (2,48 дюйма)
Скорость
8 мм/с
Повторяемость
120 нм, 240 нм, 1000 нм
