Эта платформа представляет собой гибридную платформу с плоскими механическими и воздушными подшипниками, предназначенную для пошаговых и сканирующих приложений. Это 6-осная платформа, движущаяся в направлениях X, Y, Z и Theta. Ключевыми параметрами являются динамическая плоскостность на всем протяжении хода, а также двунаправленная повторяемость. Эта платформа в настоящее время используется в: — Приложениях управления процессом изготовления полупроводниковых пластин, таких как метрология критических размеров и тонких пленок. — Скрайбирование пластин — Лазерный термический отжиг пластин. Его также можно использовать в машинах для литографии на заднем конце линии (выравнивателях масок) и в некоторых приложениях для нарезки пластин кубиками. Особенности этой платформы: — Равномерность движения, обеспечиваемая воздушным подшипником — Неограниченное вращение по оси Тета — Интеграция двойной Z: грубый ход для погрузки/разгрузки и точный ход для регулировки фокуса — Встроенный компенсатор гравитации по оси Z (заявка на патент подана) — Коррекция отклонения от курса можно сделать, слегка сдвинув двигатели Y1 и Y2. — Возможна дальнейшая интеграция с системой активной изоляции, полностью управляемой ETEL. — Ходы по X и Y можно увеличить с некоторыми ограничениями производительности. Основные характеристики: — Общий ход: 320 мм. для XY x 12 мм для Z — Скорость: 1,2 м/с для XY, 0,1 м/с для Z и 15,7 рад/с для T — Ускорение: 1,2 g для XY, 0,2 g для Z и 104,7 рад/с2 для T — Стабильность положения: ±25 нм для XY, ±15 нм для Z и ±0,2 угловой секунды для T. Двунаправленная повторяемость: ±0,4 мкм для XY, ±0,3 мкм для Z и ±2 угловых секунды для T.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейнаяТипмоторизованнаяКоличество осей2 осиДругие характеристикипневматический подшипникХод
Макс. 320 мм (12,598 дюйма)
Мин.: 12 мм (0,472 дюйма)
