Компактный монитор толщины пленки представляет собой отражательный спектрофотометрический измеритель толщины пленки, в котором используется небольшой отражательный датчик и который применим во всех ситуациях, от лабораторного уровня до 100%-ного контроля в процессе производства. Он обладает отличной ремонтопригодностью и может использоваться для встраивания в технологическое оборудование и управление линиями. Возможно одновременное измерение до 9 типов прозрачных пленок. Его можно использовать в качестве линейного или конечного монитора для различных процессов многослойной пленки. Компактный зонд можно установить в небольшом пространстве внутри технологического инструмента. Также можно судить о соотношении смеси смешанного слоя или кристалличности поликремния, используя теорию ЭМА.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипстационарныйПрименениепленочныйТехнологияспектральное отражениеДругие характеристикиточность, линейнаяДиапазон измерения
Мин.: 10 нм
Макс.: 50 000 нм
Температура окружающей среды
Мин.: 18 °C (64,4 °F)
Макс.: 45 °C (113 °F)
</div
