Технические характеристики
Модель | SURFCOM CREST | |
Измерительный диапазон | Ось Z (вертикальная) | 13 мм/рука 50 мм, 26 мм/рука 100 мм |
Ось Х (горизонтальная) | 200 мм | |
Погрешность | Погрешность оси Z | ±0,2+|H|/1000 мкм (H измеряемая высота в мм) |
Цена деления | 0,31 нм / рука 50 мм | |
Погрешность по оси X | ±0,2+L/1000 мкм (L измеряемая длина в мм) | |
Цена деления | 0,54 нм | |
Прямолинейная погрешность | 0,05+3L/10000 мкм (L измеряемая длина в мм) |