Технические характеристики
Модель | SURFCOM C5 | |
Измерительный диапазон | Детектор: ось Z | 1000 мкм |
Привод: ось Х | 200 мм | |
Рабочий диапазон | Колонна вниз/вверх: ось Z | 500 мм (шаг 0,1 мкм) |
Привод: ось Х | 200 мм (шаг 0, 1 мкм) | |
Колонна: ось Y | 800 мм (шаг 0, 1 мкм) | |
Привод: ось Y | 50 мм (шаг 0, 1 мкм) | |
Угол поворота | 0°, 90°, 180°, 270° | |
Прямолинейная погрешность | Ось Х: 0,5 мкм/200 мм, Ось Y: 0,5 мкм/50 мм |