Ультрафиолетовый пикосекундный лазер используется для точной полу- или полной резки кремниевых и составных полупроводниковых пластин. • Высокое качество. Ширина линии реза узкая (на примере коллимации ультрафиолета, ширина линии реза + ЗТВ ≤ 20 ± 5 мкм). Небольшой свал кромки (≤ 10 мкм). • Высокая эффективность UPH ≥ 10 (УФ-гальванометр: возьмите 3- Например, пластина кремниевого диода с двойной меза-дюймовой пластиной, включая время автоматического выравнивания) • Хорошая стабильность. Лазер имеет высокую стабильность импульса (≤ 2% RMS) и высокое качество луча (M² ≤1,2).
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияультрафиолетовый лазерМатериалдля монокристаллический кремнийИзделие обрабатываетсяпластинаТип управленияЧПУДругие характеристикиавтоматический, высокоточный, высокоэффективный
