Квадрупольные масс-спектрометры с детекторами Фарадея являются предпочтительными приборами для качественного анализа состава газа в камере высокого вакуума. По сравнению с вакуумметрами, квадрупольные масс-спектрометры предоставляют гораздо больший объем информации о вакууме. Детектора Фарадея часто бывает достаточно для получения информации об утечках, выбросе водяного пара или загрязнении углеводородами в условиях высокого вакуума. Для этой цели компания Pfeiffer Vacuum предлагает ряд квадрупольных масс-спектрометров с различными диапазонами масс и материалами нитей.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипчетырехполюсныйОбластьпромышленный, для анализа окружающей среды, для исследований и разработок, для обнаружения утечек, для полупроводниковой промышленностиКонфигурациякомпактный, модульный
