SU8600 открывает новую эру сканирующих электронных микроскопов со сверхвысоким разрешением в холодном поле в многолетней линейке Hitachi EM. Эта революционная платформа CFE-SEM включает в себя многогранную визуализацию, автоматизацию, повышенную стабильность системы, эффективные рабочие процессы для пользователей любого уровня опыта и многое другое. Сверхвысокое разрешение Источник излучения холодного поля высокой яркости Hitachi обеспечивает изображения сверхвысокого разрешения даже при сверхнизком напряжении. Слева: частица цеолита типа RHO при низком кВ. Чтобы выявить структуру мелких ступенек на поверхности, изображение было получено при посадочном напряжении 0,8 кВ. Это позволяет четко видеть очень тонкую структуру ступенек поверхности (изображение справа). Интеллектуальная система обнаружения для низковольтной визуализации BSE Изображение поперечного сечения 3D NAND, оксидного слоя и нитридного слоя конденсатора легко различимо на изображении благодаря возможности обнаружения BSE. Быстрая визуализация BSE: новый кристалл типа BSED (OCD) на выходе. Благодаря использованию нового типа BSED (OCD) на кристалле на выходе* время получения изображения составило менее ОДНОЙ СЕКУНДЫ, однако межсоединения нижнего уровня и структура Fin FET SRAM четко видны. . Улучшение пользовательского опыта благодаря расширенной автоматизации Опция программного обеспечения «EM Flow Creator» позволяет пользователям настраивать повторяемые последовательности операций SEM. Различные функции SEM можно собрать в окне EM Flow Creator методом перетаскивания, а затем сохранить как рецепт для дальнейшего использования. После настройки рецепта автоматический сбор данных при заданных условиях может выполняться с высокой точностью и повторяемостью. Гибкий интерфейс Конфигурация с двумя мониторами обеспечивает гибкое и высокоэффективное рабочее пространство.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипАвтоэмиссионное сканирование электроновТехническое применениедля анализаТехника наблюдения3DИсточник электроновХолодная полевая эмиссияТип детектораЭнергодисперсионный рентгеновский детектор обратно-рассеянных электроновДругие характеристикиавтоматический, сверхвысокое разрешениеУвеличениеавтоматический, сверхвысокое разрешениеУвеличение span>
Макс.: 2 000 000 единиц
Мин.: 20 единиц
Разрешение
0,6 нм, 0,7 нм
