TRIPOD 52-6DoF совместим с модульной системой CLS-52 и состоит из наклонно-поворотной платформы, как и его более крупный эквивалент TRIPOD 92-6DoF. Расположение трех револьверных головок обеспечивает возможность вращения и тангажа верхней пластины в диапазон ±8,5° для Θx, ±9,5° для Θy и линейный сдвиг в направлении Z 5 мм. На верхней пластине имеется монтажный паз для поворотной платформы SR-3211, добавляющий установке четвертую степень свободы. Нижняя пластина, напротив, позволяет осуществлять непосредственный монтаж на макетную плату или XY-платформу, состоящую из двух каскадов линейного перемещения CLS-52. Последняя возможность соответствует системе позиционирования 5D или вместе с SR-3211 системе позиционирования 6D. Механический ход [мм] — 31 (X), 31 (Y), 5 (Z) Ход [ — 17 (Θx), 19 (Θy), неограниченный (Θz) Макс. Нормальная сила [Н] — 5 Макс. Горизонтальная сила [Н] — 2,5 Размеры [мм] — 90 x 90 x 80 Высота платформы над землей [мм] — 80 Вес [г] — ~ 550 Типы датчиков с замкнутым контуром — S Наименьший шаг [нм] — 1 Наименьший шаг [мкрад] — 1 Повторяемость с обратной связью, полный ход MCS2 [нм] —
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осейXYОсобенности штативПрименениевакуумПовторяемость
50 нм
Ход
6 мм, 31 мм (0,236 дюйма)
