Платформа CHARON2 построена на прочной, надежной и элегантной архитектуре, разработанной с учетом принципов модульности и масштабируемости. Все начинается с отдельной оси X и заканчивается полной системой перемещения, насчитывающей до 7 осей. Технические характеристики производительности доступны для различных конфигураций электроники. Его совместимость с текущими и будущими модулями и опциями позволяет охватить самые широкие области применения и варианты использования. Эта гибкая, масштабируемая, модульная и обновляемая платформа предлагает начальный уровень для всех полупроводниковых приложений и многих вариантов использования на других рынках, например, в медицине, фармацевтике, материаловедении и других. Платформа CHARON2, постоянно развивающаяся на всех обслуживаемых рынках, поддерживает продление срока службы OEM-продуктов, а также пути обновления. Точность позиционирования на уровне ±1 мкм в сочетании с превосходной двунаправленной повторяемостью и высокой динамикой способствует разработке приложений во всех областях технологий и промышленности. Характеристики — Общий ход: до 650 мм x 410 мм — Доступно в 9 стандартах x 2 электроники = 18 конфигураций в качестве готовых продуктов — Компактная занимаемая площадь — Полезная нагрузка до 30 кг — Включенные опции и функции: рельсовое всасывание частиц (ETEL патент), специальные сигналы, пневматические линии и многое другое. — Совместимость с чистыми помещениями ISO1 — Коррекция наклона наконечника с помощью комбинированного модуля Z3TM — Встроенная подача вакуума на уровне патрона — Короткое время перемещения и стабилизации Основные характеристики — Точность позиционирования: ±1 мкм для XY и ±3 угловых секунды для T — Стабильность положения : ±2 нм для XY, ±0,02 угловой секунды для T и ±3 нм для точного Z. Двунаправленная повторяемость: ±0,4 мкм для XY, ±2 угловых секунды для T и ±0,03 мкм для точного Z.
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осей6-осный, одноосный, 3-осный, 4-осный, 5-осевой, 2-осный, 7-осныйДругие характеристикикомпактная многоуровневая архитектура
