Память следующего поколения, такая как FeRAM (сегнетоэлектрическая оперативная память), ReRAM (резистивная оперативная память) и MRAM (магниторезистивная оперативная память), требует травления новых энергонезависимых материалов. Однако прилипание побочных продуктов внутри камеры травления приводит к значительной потере производительности при серийном производстве. Система травления энергонезависимых материалов серии E-600/8000: EMCP (электромагнитно-связанная плазма) предлагает выдающееся решение этой проблемы, обеспечивая постоянную высокую производительность даже при травлении энергонезависимых материалов.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехникаПлазма EMCPПрименениедля энергонезависимые материалы
