Система травления проводников серии M-600/6000 предназначена для глубокого травления кремниевых траншей силовых устройств, используемых в мобильных системах, бытовых электроприборах, автомобилях, поездах и т. д. Технология низкотемпературного травления и технология смещения TM (временная модуляция) вместе с ECR Источник плазмы высокой плотности (электронно-циклотронный резонанс) обеспечивает чистый процесс, превосходные профили траншей без остатков на боковых стенках и отличную производительность. Применимый диаметр пластины: 150 мм, 200 мм. Конфигурация системы: 2 травления + 2 золы (макс.)
Технические характеристики
ХарактеристикиТехникаЭЦР плазмыПриложениядля кремний
