APA 302 — это уникальный инструмент поточного мониторинга для передового производства микросхем в условиях чистых помещений. Это инновационное оборудование измеряет молекулярное загрязнение воздуха (сокращенно AMC) в FOUP и в окружающей среде. Измерение происходит в режиме реального времени с высокой чувствительностью в диапазоне ppbv. Эффективный мониторинг загрязнений Влага и переносимые по воздуху молекулярные загрязнения (AMC), такие как фтороводород (HF), выделяются в межслотовое пространство FOUP во время ожидания. Эти элементы могут вызывать рост кристаллов на пластинах с рисунком, что приводит к потере выхода и снижению производительности. APA 302 от Pfeiffer Vacuum осуществляет отбор проб AMC через фильтры FOUP. Измерение происходит за 2 мин с высокой чувствительностью в диапазоне ppb посредством спектроскопии подвижности ионов, пламенно-ионизационного обнаружения, флуоресцентной УФ-спектроскопии или спектроскопии с понижением частоты в полости. Когда на загрузочных портах нет FOUP, APA 302 контролирует окружающую среду в чистом помещении. Надежный анализ среды FOUP. Чтобы гарантировать производительность, APA 302, соответствующий требованиям SEMI S2/S8, оснащен функцией автоматической калибровки, которая активируется через регулярные промежутки времени. Мониторинг AMC внутри APA может выполняться в POD с пластинами или без них. FOUP можно доставлять либо вручную, либо с помощью подвесного подъемника (OHT) к 2 погрузочным портам. Таким образом, можно оптимизировать время ожидания между отдельными этапами процесса, сразу распознать повышенные значения загрязнений и увеличить выход продукции.
Технические характеристики
ХарактеристикиПрименениедля чистых помещений, экологических
