Независимо разработанная спектральная конфокальная измерительная система используется для определения размера и плоскостности полупроводниковых необработанных и эпитаксиальных пластин. Преимущества продукта: Широкий диапазон применения. Используется для оригинальных пластин, подложек и эпитаксиальных пластин диаметром 4–8 дюймов из различных материалов и условий полировки. Высокая точность измерения. Диапазон толщины: 0–1 мм. Точность измерения: ± 1 мкм. Точность повторения: 0,2 мкм. Короткое время измерения. Время измерения: 30 с/шт (в зависимости от траектории обнаружения заказчика)
Технические характеристики
ХарактеристикиИзмеренная физическая величинатолщинаТехнология оптическийИзмеряемый материалдля пластин
