Система измерения толщины Multipoint NanoGauge C11295 представляет собой систему измерения толщины пленки, использующую спектральную интерферометрию. Он предназначен для измерения толщины пленок в рамках процесса производства полупроводников, а также для контроля качества АПК и пленок, которые монтируются на оборудование для производства полупроводников. Позволяет проводить многоканальные измерения в режиме реального времени, что обеспечивает одновременное многоканальное измерение и многоточечное измерение на поверхностях пленки. В то же время он также может измерять отражательную способность (пропускание), цвет объекта и их изменения с течением времени. Особенности • Одновременное измерение толщины пленки до 15 точек • Работа без эталона • Стабильные долгосрочные измерения за счет коррекции колебаний интенсивности света • Функция сигнализации и предупреждения (годен/не годен) • Измерения отражения (пропускания) и спектра • Высокая скорость и высокая точность точность • Измерение в реальном времени • Точное измерение колеблющейся пленки • Анализ оптических констант (n, k) • Доступно внешнее управление Технические характеристики Номер типа: C11295-XX*1 Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло): от 20 нм до 100 мкм*2 Воспроизводимость измерений (стекло): 0,02 нм*3 *4 Точность измерения (стекло): ±0,4 %*4 *5 Источник света: ксеноновый источник света *6 Длина волны измерения: от 320 до 1000 нм Размер пятна: прибл. φ1 мм*4 Рабочее расстояние: 10 мм*4 Количество измеряемых слоев: Макс. 10 слоев Анализ: анализ БПФ, анализ подгонки Время измерения: 19 мс/точка*7 Форма оптоволоконного разъема: SMA Количество точек измерения: от 2 до 15 Функция внешнего управления: Ethernet Интерфейс: USB 2.0 (основной блок — компьютер) RS-232C ( Источник света — компьютер) Источник питания: от 100 до 240 В переменного тока, 50/60 Гц.
Технические характеристики
ХарактеристикиИзмеренная физическая величинатолщина, свет, отражательная способностьТехнологияоптическийИзмеряемый материалдля пленкиДругие характеристикимногоканальный
