Процесс: ● Применяется к пластинам размером 125/156. ● Совместимость с пробирками и пластинами PECVD-оборудования различных размеров. Особенности: ● Двухканальная онлайн-конструкция, общая для всех AB. ● Онлайн-интеграция AOI и IV-тестирования. ● Автоматическое обнаружение и выброс входящих ячеек. функция Функция быстрого захвата и размещения линейного двигателя ● Автономная платформа с четырьмя станциями ● Высокая скорость и высокая производительность ● Высокая эффективность и низкий уровень поломок ● Автоматическая классификация ячеек ● Функция отслеживания идентификатора пластины ● Автоматическое переключение стека ● Интерфейс MES и удаленная диагностика ● OEE статистика и анализ энергопотребления Загрузка: онлайн, офлайн ● Разгрузка: штабелированный ящик ● Опциональная конструкция с одной или двумя дорожками, цельная или разделенная компоновка Опции: ● Обнаружение AOI спереди или сзади ● Обнаружение IV спереди или сзади, дополнительная марка HALM или WAVELAB Классификационный номер ячейки Функция отображения и печати ● Функция идентификации RFID-метки ● Функция интеллектуальной стыковки IGV Преимущество: ● Высокая точность (точность и повторяемость позиционирования смарт-камеры SMega Pixel менее 1 Ом при 3 см, линейный двигатель с высоким разрешением) ● Высокая эффективность и низкий уровень поломок (время безотказной работы ≥ 98,5% поломок≤0,1%) ● Высокая производительность (Пропускная способность: 8000 шт./час Время цикла ≤0,9 с) ● Высокая производительность (Производительность: 140 000 шт./день 8000 шт./часx98%x22 = 176 000 шт./день) ● Интеллектуальный манипулятор челночного робота (многофункциональный) Конструкция рычага челнока оси, независимое управление Конструкция абсолютного энкодера Быстрый стековый переключатель ）
Технические характеристики
ХарактеристикиПараметрыпроцесса
