Процесс: ● Адаптация к кремниевым пластинам M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) и 230 мм. ● Совместимость с трубками PECVD различных размеров и пластинами PECVD. Оборудование Подходит для процесса HJT Характеристики: ● Загрузка и разгрузка: Кассета ● Выход: графитовый контейнер ● Опциональный тест PL ● Класс чистой комнаты 1000 ● Функция автоматической очистки несущей платы ● Опциональная поддержка функции MES и функция удаленной диагностики ● Дополнительный интеллектуальный интерфейс IGV ● Интеллектуальный машина, статистика OEE и функция анализа энергопотребления
Технические характеристики
ХарактеристикиПараметрыпроцесса
