● Применяется к пластинам размером 156/230. ● Совместимость с диффузионным оборудованием различных марок и кварцевыми лодочками разных размеров. Характеристики: ● Загрузка и выгрузка: кассета. ● Выход: кварцевая лодочка. ● Дополнительное онлайн-сопротивление квадратов, обнаружение, тест на гидрофильность, обнаружение недостающих частей. и обнаружение частиц воды ● Дополнительная поддержка интерфейса MES и функции удаленной отладки ● Статистика OEE и анализ энергопотребления ● Керамическая присоска, керамическая быстросъемная верхняя передача ● Стандартный воздушный нож с ионным разделением ● Дополнительная поддержка функции MES и функция удаленной диагностики ● Дополнительный интеллектуальный интерфейс IGV ● Интеллектуальная машина, статистика OEE и функция анализа энергопотребления.
Технические характеристики
ХарактеристикиПараметрыдля производства, процесса
