Процесс: ● Применяется к пластинам размером 156/230. ● Совместимость с трубками и пластинами PECVD различных размеров. Характеристики оборудования PECVD: ● Загрузка и выгрузка: кассета или стопка. ● Загрузка и выгрузка: кассета или стопка. ● Выход: графитовая лодочка. ● Мониторинг температуры лодочки. ● Дополнительное онлайн-обнаружение разницы цвета/толщины пленки, обнаружение PL, обнаружение мусора, ● обнаружение искривленной пленки, переворот ● Дополнительная поддержка интерфейса MES и функция удаленной отладки ● Интеллектуальная машина, статистика OEE и функция анализа энергопотребления ● Стандартное определение температуры лодки, вертикальная съемка лодка, керамическая присоска, ● одноканальный вакуум ● Дополнительный интеллектуальный интерфейс IGV
Технические характеристики
ХарактеристикиПараметрыдля производства, процесса
