Интегрированная загрузка и выгрузка пластин, выгрузка пластин из кварцевой лодочки в кассету или загрузка пластин из кассеты в кварцевую лодочку. Доступно для двойных пластин в одном слоте, которые реализуют одностороннюю диффузию, или для одной пластины в слоте для двусторонней диффузии. Благодаря непрерывной загрузке и разгрузке пластин можно гарантировать непрерывное производство или использовать только для загрузки или выгрузки пластин. · Импортированный шестиосный подъемник для загрузки/выгрузки обеспечивает высокую надежность подбора и размещения пластин. · С помощью программного обеспечения главного компьютера на базе IPC в HMI можно реализовать высокоскоростное взаимодействие данных посредством сетевой связи. · С точными компонентами обнаружения для определения динамического положения кварцевой лодочки для исправления позиционирования. · С системой охлаждения перед процессом разгрузки, что позволяет избежать любого вредного воздействия на пластины и оборудование, вызванного высокой температурой. · Гребень и захват используют специальную технологию обработки, которая значительно уменьшает следы на пластинах. · Кассета может быть вертикальной или горизонтальной, клиент может гибко выбирать в соответствии со своими потребностями. · Функция MES, обнаружение сопротивления листа и AGV, опционально.
Технические характеристики
ХарактеристикиРежим работыавтоматический, вертикальный, горизонтальный, непрерывныйПрименение продуктавафляПриложенияпроцесс, охлаждение
