Многослойные покрытия с градиентом толщины / Широкополосные отражатели
многослойное покрытие с различной толщиной билислоев, подходящей для условий Брэгга для многих типов энергий фотонов / длин волн
возможны широкополосные или полосно-пропускающие отражатели
ширина энергетической полосы 20% и более
градиент толщины оптимизирован для энергий фотонов от EUV до жесткого рентгеновского излучения (> 80 кэВ)
относительная ширина энергетической полосы постоянна при изменении энергии фотона (и соответствующего угла Брэгга)
регулировка ширины полосы под заданный спектральный источник
высокий поток фотонов за счет отражения значительной части спектрального источника, например, на поворотных магнитах или плазменных источниках
Измерение широкополосных отражателей:
Симуляция (черная линия) и измерение (красная линия) отражательной способности широкополосного зеркала для EUV-диапазона (R-vs-lambda, 3.8-4.5 нм, слева) и для жесткого рентгеновского диапазона (R-vs-theta, брэгговский угол 0.21-0.26°, справа).
Измерение широкополосных отражателей:
Фото типичных размеров многослойных зеркал.
Многослойные отражатели могут быть изготовлены различных размеров, от нескольких квадратных миллиметров (например, 6 x 4 мм², как показано на рисунке) до длины 500 мм (обычно для синхротронных отражателей) или диаметра 8 дюймов (пластина).
