CM — наш самый компактный концевой блок для внешнего монтажа. Он может поражать цели размером до 1000 мм и имеет номинальную мощность до 20 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC. Концевой блок CM для внешнего монтажа сочетает в себе высокую производительность и надежность в очень компактной и легкой конструкции. Особенности Настраиваемая длина приводного вала Компактная и гибкая конструкция Легкий доступ к картриджу с водяным уплотнением Запатентованная технология подачи мощности Запатентованное целевое заполнение и слив воды Простая конструкция с меньшим количеством деталей Магнитный стержень снаружи регулируется под любым углом Преимущества Более широкий охват подложки, чем внутренние концевые блоки Подходит для большинства конструкций камер Все Коммуникации являются внешними и остаются подключенными во время смены мишени. Высокая плотность упаковки, двойные катоды на пространстве 220 мм (с внутренним диаметром мишени 80 мм). Приводные двигатели можно монтировать вверх или вниз, внутрь или наружу. Высокая мощность без воздействия индуктивного нагрева. — отсутствие пыли от кисти. Быстрое и простое обслуживание собственными силами. Обеспечивает совместное распыление, более плотное соединение с плазмой и ограничивает защитное покрытие.
Технические характеристики
ХарактеристикиОпцииповоротный, плоский, для ионного распыления/дел>
