Внутренние концевые блоки серии TC имеют уникальную технологию подачи энергии и имеют самую компактную конструкцию. TC может поражать цели длиной до 1500 мм и имеет номинальную мощность 40 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC. Концевые блоки внутреннего монтажа SCI отличаются высокой надежностью и простой и удобной в обслуживании конструкцией. Односторонняя конфигурация уменьшает количество вращающихся и статических уплотнений, одного из наиболее распространенных видов отказов вращающихся катодов. Наша уникальная функция заполнения и слива воды позволяет улучшить охлаждение объекта и полный слив воды при продувке. Конструкция исключает возможность возникновения гальванической коррозии внутри концевого блока, которая может привести к протечкам воды и коротким замыканиям. Концевые блоки TC для внутреннего монтажа компании Sputtering Components можно установить на любую новую установку для нанесения покрытий или легко заменить плоские системы. Особенности Запатентованная технология подачи энергии Уникальный метод крепления мишени Прочные, долговечные вращающиеся уплотнения Самая компактная конструкция, доступная для стандартных промышленных мишеней Непатентованная конструкция мишени Подходит для стандартных размеров мишени Запатентованная функция наполнения/слива воды Преимущества Превосходная надежность Простота установки Быстрая мишень замена Ежегодное обслуживание в течение 2 часов, общий ремонт концевого блока в течение 3 часов Очень низкие затраты на техническое обслуживание Используйте цели от любого поставщика Отличная мощность без воздействия индукционного нагрева – отсутствие пыли от щетки Отсутствие гальванической коррозии
Технические характеристики
ХарактеристикиОпцииповоротный, для ионного распыления
