Наш самый большой концевой блок для внутреннего монтажа, SC, может обрабатывать цели длиной до 4000 мм и имеет номинальную мощность до 200 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC. Концевые блоки внутреннего монтажа SCI отличаются высокой надежностью и простой и удобной в обслуживании конструкцией. Односторонняя конфигурация уменьшает количество вращающихся и статических уплотнений, одного из наиболее распространенных видов отказов вращающихся катодов. Наша уникальная функция заполнения и слива воды позволяет улучшить охлаждение объекта и полный слив воды при продувке. Такая конструкция исключает возможность возникновения гальванической коррозии внутри концевого блока, которая может привести к протечкам воды и коротким замыканиям. Концевые блоки SC компании Sputtering Components можно установить на любую новую установку для нанесения покрытий или легко заменить другие вращающиеся концевые блоки или плоские системы. Особенности Запатентованная технология подачи энергии Уникальный метод крепления мишени Прочные, долговечные вращающиеся уплотнения Стандартный монтаж на крышке Непатентованная конструкция мишени Запатентованная мишень для наполнения и слива воды Магнитный стержень можно установить под любым углом Преимущества Высочайшая надежность на рынке Простота установки или модернизация концевых блоков конкурентов. Самая быстрая смена мишеней. Годовое обслуживание 1 час, полная перестройка концевого блока 3 часа. Самые низкие затраты на техническое обслуживание. Используйте мишени от любого поставщика. Высокая мощность без воздействия индуктивного нагрева – отсутствие пыли от щетки. Отсутствие гальванической коррозии.
Технические характеристики
ХарактеристикиОпцииповоротный, для ионного распыления
