Термоэлектрические технологические термостаты для полупроводниковой промышленности от -20 до 90 °C. Термоэлектрическая система контроля температуры Semistat обеспечивает воспроизводимый контроль температуры при плазменном травлении. Эта система динамически контролирует температуру электростатического держателя пластин (ESC) и может использоваться во всех типах процессов травления. Термоэлектрические системы контроля температуры LAUDA Semistat основаны на общепринятых принципах теплопередачи, используемых в элементах Пельтье. Эти элементы позволяют быстро и точно контролировать температуру, необходимую для сложных процессов, связанных с производством компонентов, которые постепенно становятся все меньше и меньше по размеру. Полустатные системы контроля температуры позволяют снизить потребление энергии до 90 % по сравнению с системами на базе компрессоров. Минимальные требования к пространству с возможностью установки под полом в месте использования сводят к минимуму использование чистых помещений. Быстрый и точный контроль температурных профилей процесса с точностью до ±0,1 К повышает однородность пластины. Рабочая температура мин.-20 °C Рабочая температура макс.90 °C Температурная стабильность0,1 ±K
Технические характеристики
ХарактеристикиДисплейбез дисплеяТиптермоэлектрический ИспользованиепроцессаМаксимальная температура
Мин.: -20 °С (-4 °С) F)
Макс.: 90 °C (194 °F)
