Серия GP200 — это первый полностью нечувствительный к давлению контроллер массового расхода (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в производстве полупроводников. P-MFC серии GP200 имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFC и обеспечивает наиболее точную подачу технологического газа даже при подаче технологических газов с низким давлением паров. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных особенностей, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с архитектурой расположенного ниже по потоку клапана, обеспечивающего наиболее точную подачу технологического газа в самом широком диапазоне рабочих условий в отрасли. Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон технологических условий, ее можно использовать в качестве замены и модернизации многих традиционных P-MFC и термических MFC. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики. Узнайте больше о конструкции серии GP200 и посмотрите, как она работает. Особенности Измерение истинного перепада давления. Работа при более низком входном давлении. Архитектура клапана на выходе. Согласованный переходный процесс. Нулевая утечка благодаря регулирующему клапану. Технология MultiFloTM обеспечивает непревзойденную гибкость — одно устройство можно запрограммировать для тысяч различных конфигураций газа и диапазона расхода, не снимая MFC с газопровода или компромиссная точность Локальный дисплей отображает расход, температуру, давление и сетевой адрес DeviceNetTM, EtherCAT®, RS-485 L-протокол и аналоговые интерфейсы
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиямасса, перепад давленияЖидкостьдля газаДругие характеристикианалогДавление
Макс.: 150 фунтов на квадратный дюйм
Мин.: 0 фунтов на квадратный дюйм
