Самые быстрые и точные MFC, улучшенные за счет скорости EtherCAT®. Производительность идеальна для полупроводниковых процессов. • Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. • Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0,15 % от отклонения SP в год) обеспечивает более точную настройку низких частот. точность точки и снижает требования к техническому обслуживанию • Улучшенное отключение клапана (≤ 0,15% от диапазона бункера) уменьшает утечку через клапан, чтобы уменьшить эффекты первой пластины • Новая улучшенная нечувствительность к переходным процессам давления снижает чувствительность к перекрестным помехам для обеспечения постоянной подачи массового расхода. Особенности • Долговременная нулевая стабильность
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияМассаЖидкостьдля газа Скорость потока
Мин.: 0 л/мин (0 галлонов США/мин)
Макс.: 300 л/мин (79 галлонов США/мин)
Давление
Мин.: 7 фунтов на квадратный дюйм
Макс.: 90 фунтов на квадратный дюйм
