Доказанная долгосрочная стабильность. Сверхчистая производительность для применения при высоких температурах. Предлагая самые современные характеристики измерения и контроля высокотемпературных газов, высокотемпературный регулятор массового расхода с металлическим уплотнением серии 5850EMH от Brooks Instrument сочетает в себе исключительную герметичность металлических уплотнений с множеством опций, обеспечивающих максимальную гибкость применения. Сердцем серии 5850EMH является высокостабильный датчик, который обеспечивает выходной электрический сигнал, линейный в зависимости от расхода. Этот сигнал используется для индикации, записи и/или управления без необходимости использования схемы автоматического обнуления. Особенности • Высокая герметичность (менее 10–11 Па·м3/с (10–10 атм·см3/с) He) • Нержавеющая сталь VAR 316L высокой чистоты • Не содержащие твердых частиц гелиевые контрольные отверстия для проверки утечек • Нормально закрытый клапан (нормально закрытый) открытый клапан (опционально) • Блокировка клапана с электроприводом • Отсечка при низком задании расхода • TTL-совместимая функция «закрытого клапана» Преимущества • Стабильная, проверенная платформа продукта • Цельнометаллический путь потока повышает чистоту газа и снижает утечки • Легко устанавливается и обслуживается только с помощью аналоговых устройств входы/выходы Применение Производство оптического волокна – MCVD, OVD, AVD Управление потоком водяного пара
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияМассаЖидкостьдля газа Другие характеристикианалог, нержавеющая стальРасход
Макс.: 100 л/мин (26 галлонов США/мин)
Мин.: 0 л/мин (0 галлонов США/мин)
Давление
Макс.: 145 фунтов на квадратный дюйм
Мин.: 0 фунтов на квадратный дюйм
