Ход 5 мм при занимаемой площади 17 x 32 мм — для сверхнизких температур до 4K — для условий высокого вакуума до 10^(-9) мбар Миниатюрные этапы перемещения для сверхнизких температур с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Версия ML 17 сверхвысокого напряжения.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияXY, XYZТип пьезоэлектрическийКоличество осей3 осиДругие характеристикиминиатюрный, вакуумныйХод
5 мм (0,197 дюйма)
Скорость
1 мм/с
