DXRH — новейшее дополнение к решениям ETEL для поворотных осей. Это поворотная ось на механическом подшипнике с 1 степенями свободы, обеспечивающая выдающиеся характеристики с точки зрения точности и точности. Обладая энкодером на 360 000 строк и непревзойденными механическими характеристиками, которые можно напрямую сравнить с решением на воздушном подшипнике без сопутствующей сложности, в основе DXRH лежат лучшие в своем классе технологии энкодеров и подшипников HEIDENHAIN, а также беззубый двигатель с технологией прямого привода ETEL без каких-либо пульсаций крутящего момента. . Полностью совместимый со стандартными интерфейсами ETEL, модуль DXRH доступен как автономный модуль или интегрирован в портфолио системы ETEL. Он также обеспечивает возможность повышения производительности для всех приложений на базе DXR+ без каких-либо изменений, поскольку интерфейсы идентичны. Поворотный модуль DXRH можно интегрировать в многоярусные платформы CHARON2 и VULCANO2. Он обеспечивает высокую жесткость, высокую точность, высокую точность, высокий уровень чистоты, а также низкую термическую деформацию благодаря конструкции из нержавеющей стали. С акцентом на упрощение полупроводниковых приложений, модуль остается подходящим для всех разнообразных рынков и потребностей, требующих решений для высокой точности и высокой точности вращения. Поворотный модуль DXRH, подходящий для различных применений и отраслей, особенно подходит для приложений управления процессами изготовления полупроводниковых пластин, таких как метрология наложения, метрология критических размеров и тонких пленок, а также фотоника.
Технические характеристики
ХарактеристикиТиппрямой приводПрименение продуктадля полупроводниковДругие характеристикиточность
