для условий высокого вакуума до 10^(-6) мбар. Ход 3,5 мм по осям x и y. занимаемая площадь 15 x 15 мм. Сверхкомпактные миниатюрные столики перемещения с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Вакуумная версия MS15.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияПеремещение, XYТип пьезоэлектрическийКоличество осей2 осиДругие характеристикиминиатюрный, вакуумныйХод
3 мм (0,118 дюйма)
Скорость
1,5 мм/с
