Керамические плиты из нитрида кремния могут изготавливаться с наружным диаметром 400 мм. В пределах этого диаметра возможны любые прямоугольные формы, нестандартные формы и отверстия. Типичная высота пластин составляет 5 мм, а со встроенным каналом охлаждения — около 15 мм. Особые свойства и малая масса керамического материала обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и исключительную точность управления. По сравнению с металлом поверхность керамики остается ровной благодаря низкому температурному расширению даже при работе с быстрыми изменениями температуры. Высокая прочность нитрида кремния, полученного горячим прессованием, гарантирует высокую устойчивость к нагрузкам (например, при высоких нагрузках давления) и отличную износостойкость. Нагревательные пластины идеально подходят для сложных процессов в системах обработки полупроводников. Индивидуальный дизайн Наши собственные разработки делают любые изменения размера, конфигурации или производительности простыми и удобными. В конструкцию могут быть добавлены отверстия для крепления кронштейнов и отверстия для датчиков температуры. Также могут быть добавлены вакуумные канавки, вырезанные лазером. Наши конфорки поставляются уже с плоской поверхностью, однако их можно отшлифовать до плоскостности
Технические характеристики
ХарактеристикиПрименениепайкаМатериалкерамикаДругие характеристикиточность, охлаждениеТемпература
500 °C (932 °F)
