Измерение истинной температуры поверхности пластины и коэффициента отражения при эпитаксии на основе GaN, от 650 до 1300°C. Пирометры UV 400 и UVR 400 компании Advanced Energy непосредственно измеряют температуру поверхности пластины вместо традиционной температуры токоприемника/кармана. • Широкий температурный диапазон (от 650 до 1300°C) позволяет охватить как рост основного буфера, так и рост MQW • Измерение толщины осаждения с помощью дополнительного рефлектометра на длине волны 635 нм на UVR 400 • Регулируемые коэффициенты излучения, пропускания и поддиапазона Обзор UV 400 и поддиапазоны Advanced Energy Пирометры UVR 400 напрямую измеряют температуру поверхности пластины. Этот улучшенный метод позволяет более точно контролировать температуру пластины, что приводит к повышению выхода продукции. UVR 400 включает дополнительный рефлектометр на длину волны 635 нм со скоростью измерения 0,5 кГц. Это позволяет включить измерение толщины осаждения. Эти системы устанавливают новый стандарт для процессов производства светодиодов. Результаты показывают надежную корреляцию между температурой процесса и длиной волны конечного продукта. Преимущества •Увеличение выхода продукции за счет точного измерения истинной температуры пластины •Измерение температуры непосредственно на слое GaN с использованием приборов УФ-излучения •Захват измерения коэффициента отражения в реальном времени с использованием быстроимпульсного источника света •Предотвращение колебаний температуры остатков, как это наблюдается в пирометрах с компенсацией излучательной способности NIR •Предотвращение асимметрия данных из-за задержки выборки (без включения и выключения затвора) Особенности •Надежная температура пластины с корреляцией длин волн ФЛ •Доступны аналоговый выход и RS485 с интерфейсами протокола UPP •Регулируемый поддиапазон в пределах температурного диапазона •Устройство выдерживает атмосферу азота и вакуума (
Технические характеристики
ХарактеристикиДисплейбез дисплеяСвязьRS485 КонфигурациястационарнаяПрименениедля полупроводников, для светоотражающих материаловТемпература
Макс. 1300 °C (2372 °F)
Мин.: 650 °C (1202 °F)
